高感度測定ハンドブック目次
第1章 高感度DC測定器
1.1 はじめに
1.2 理論上の測定限界
1.3 測定器の定義
1.3.1 エレクトロメータ
1.3.2 DMM
1.3.3 ナノボルトメータ
1.3.4 ピコアンメータ
1.3.5 ソース・メジャー・ユニット
1.3.6 微小電流プリアンプ
1.3.7 マイクロオームメータ
1.3.8 微小電流源
1.4 測定器の仕様について
1.4.1 確度に関する用語の定義
1.4.2 確度
1.4.3 ディレーティング
1.4.4 ノイズ、およびノイズ除去
1.4.5 速度
1.5 回路設計の基本
1.5.1 電圧計回路
1.5.2 電流計回路
1.5.3 クーロンメータ回路
1.5.4 高抵抗オームメータの回路
1.5.5 微小抵抗を測定するオームメータの回路
1.5.6 測定器全体
第2章 高抵抗測定
2.1 はじめに
2.2 高抵抗信号源の電圧測定
2.2.1 負荷誤差とガード
2.2.2 絶縁抵抗
2.3 微小電流測定
2.3.1 リーク電流とガード
2.3.2 ノイズとソース・インピーダンス
2.3.3 ゼロ・ドリフト
2.3.4 発生電流
2.3.5 電圧負荷
2.3.6 過負荷保護
2.3.7 AC
2.3.8 クーロンメータを使用した微小電流の測定
2.4 高抵抗測定
2.4.1 定電圧法
2.4.2 定電流法
2.5 電荷測定
2.5.1 誤差発生源
2.5.2 ゼロ・チェック
2.5.3 エレクトロメータの電荷測定レンジ拡大
2.6 エレクトロメータの一般的注意事項
2.6.1 接続方法
2.6.2 静電干渉とシールド
2.6.3 環境ファクタ
2.6.4 速度に関する注意事項
2.6.5 ジョンソン・ノイズ
2.6.6 試料の接続
2.6.7 アナログ出力
2.6.8 フローティング入力信号
2.7 高インピータンス測定最適化のまとめ
第3章 微小抵抗測定
3.1 はじめに
3.2 微小電圧測定
3.2.1 電圧測定における誤差発生源の影響
3.2.2 熱起電力
3.2.3 内部オフセット
3.2.4 ゼロ・ドリフト
3.2.5 RFI/EMI
3.2.6 ジョンソン・ノイズ
3.2.7 1/fノイズ
3.2.8 電源周期の干渉と電源周期の積分
3.2.9 磁場
3.2.10 グランド・ループ
3.2.11 ノイズの低減方法
3.2.12 コモン・モード電流と反転誤差
3.3 微小抵抗測定方式
3.3.1 リード線抵抗と4線方式
3.3.2 熱起電力とオフセット補正方式
3.3.3 非オーム接触
3.3.4 デバイスの発熱
3.3.5 ドライ・サーキット・テスト
3.3.6 誘導性デバイスの試験
3.4 低インピーダンス測定の最適化のまとめ
第4章 アプリケーション
4.1 はじめに
4.2 高インピーダンス電圧測定アプリケーション
4.2.1 キャパシタの誘電吸収
4.2.2 電気化学測定
4.3 微小電流測定アプリケーション
4.3.1 キャパシタの漏れ測定
4.3.2 微小電流ダイオード測定
4.3.3 MOSFETの微小電流測定
4.3.4 光電子増倍管を使用した光測定
4.3.5 イオン・ビーム測定
4.3.6 PINフォトダイオードの光導電電流
4.3.7 アバランシェ・フォトダイオードの逆バイアス電流測定
4.3.8 カーボン・ナノチューブ（CNT）FETのC-V
4.4 高抵抗測定アプリケーション
4.4.1 プリント回路基板の表面絶縁抵抗試験
4.4.2 絶縁材料の抵抗率測定
4.4.3 半導体の抵抗率測定
4.4.4 高抵抗の電圧係数試験
4.5 電荷測定アプリケーション
4.5.1 キャパシタンス測定
4.5.2 ファラデー・カップを使用した物体中の静電荷測定
4.6 微小電圧測定アプリケーション
4.6.1 標準電池の比較
4.6.2 高分解能温度測定と微小熱量測定
4.6.3 6端子ブリッジ・サンプルのホール電圧／抵抗測定
4.7 微小抵抗測定アプリケーション
4.7.1 接触抵抗
4.7.2 超伝導体の抵抗測定
4.7.3 導電性材料の抵抗率測定